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检漏的目的在于将泄漏降低到一个可以接受的,不影响系统正常运行的程度。
选择氦气检漏的好处:
1、在空气中含量低(只有5ppm),本底浓度低;
2、惰性气体不易燃,不易爆,对环境无污染,不与其他物质反应;
3、无毒;
4、在质谱仪中和其他相邻物质可以很好的分别;
5、比空气轻;
6、气体分子很小,可以穿过微小的泄漏孔。
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