镀膜设备全方位维护如何做？

    镀膜设备不间断使用12个月以上，里面的抽速就会变慢，那就要及时做好清洗工作。首先充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘和喷嘴。泵腔及泵胆分三次清洗,先用汽油将清洗一遍，再用洗衣粉清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净。待晒干后，重新加入泵油，装好泵胆，并装回机体，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。

    镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。镀膜设备厂家表明用烧碱饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（ 注意安全不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝与烧碱发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。

    镀膜设备中的粗抽泵连续工作30天就要换新油。将泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量。

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